国家知识产权局信息数据显现,姑苏中科重仪半导体资料有限公司请求一项名为“一种常压成长的MOCVD反响器及薄膜成长办法”的专利,公开号CN121992490A,请求日期为2026年1月。
专利摘要显现,本发明触及一种常压成长的MOCVD反响器及薄膜成长办法,归于半导体资料制备技能领域,处理了现存技能中水平进气的MOCVD反响器成型的薄膜前厚后薄、均匀性差、部分累积的问题。本发明包含反响室、进气组件和反响组件;反响组件设置于反响室的中心,进气组件设置于反响组件的第一侧,用于为反响组件供给反响气体;反响气体分层进入反响组件中,反响气体包含上层氨气、中层MO源和载气和基层氨气。本发明能进步成型薄膜的均匀性,削减部分累积。
天眼查资料显现,姑苏中科重仪半导体资料有限公司,成立于2022年,坐落姑苏市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1083.34万人民币。经过天眼查大数据分析,姑苏中科重仪半导体资料有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目6次,产业线条,此外企业还具有行政许可7个。
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