金融界 2025 年 3 月 17 日音讯,国家知识产权局信息数据显现,LPE 公司请求一项名为“用于在衬底上外延堆积半导体资料的反响器”的专利,公开号 CN 119615357 A,请求日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显现,该立异反响器用于在衬底上外延堆积半导体资料,而且包含:反响室(210),其沿着纵向方向(L)延伸;滑架(220),其适于支撑反响室(210)或反响室的一部分,以及管(230),其沿着纵向方向(L)延伸,而且适于包容反响室(210)和支撑反响室(210)的滑架(220);滑架(220)适于沿着纵向方向(L)滑动,以便利反响器处于非操作状况时将反响室(210)从管(230)抽出/刺进到管(230)中。
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