我国半导体设备供货商的2022

　　芯片制作实力被视为是未来全球半导体工业竞赛的中心，而半导体设备作为芯片制作的要害，是近几年评论的热门话题，尤其是跟着美国对华制裁的推动，半导体设备范畴更是被推上了风口浪尖。国际设备巨子相继开端弱化我国商场，以期削减美国的对华出口约束的沉重负担。

　　与此一起，随同下流使用商场的低迷，工业链厂商相继减缩本钱开支，下降扩产脚步，半导体设备供货商订单随之下降。美国使用资料几天前在记者会上表明，“正在产生存储芯片客户很多撤销和推延订单的状况。”

　　笔者在此前文章中也描绘了半导体设备大厂的“落寞”，在订单削减、成绩下滑、市值腰斩等多重压力下，全球头部半导体设备厂商正迎来“商场隆冬”。

　　环顾当下，半导体商场下行周期与交易冲突表里交织，给半导体设备巨子的事务带来了很大程度的折损。但这一起也给置身其间的国产设备供货商供给了新的展开机会。

　　现在，以北方华创、中微公司、盛美上海、芯源微等一批为代表的国内半导体设备厂商经过数十年的展开，完结从0到1的堆集进程。

　　跟着A股成绩发布期的到来，半导体设备相关公司也向商场交出答卷，可借此一窥我国半导体设备工业2022年的展开状况。

　　据不完全统计，到2023年3月，100多家半导体工业相关公司发布了2022年成绩预告，超半数以上企业完结了净赢利同比添加，其间多为半导体设备和资料范畴的上市公司。增速大于100%的公司中有北方华创、拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技等多家国产半导体设备公司。

　　北方华创主营事务包含电子工艺配备和电子元器材，其间设备布局包含刻蚀、堆积、清洗、检测等环节，下流掩盖逻辑、存储、功率、第三代半导体、光伏、面板等多范畴，公司不断扩展产品线，是国内名列前茅的渠道型半导体设备供货商。

　　关于获得高速添加的原因，北方华创在公告中表明，公司活跃采纳多项办法，克服了疫情及供给链等不利要素的影响，确保了出产运营的正常工作，完结客户订单有序交给，全年电子工艺配备和电子元器材事务运营成绩均完结了继续添加。

　　中微公司是一家微观加工高端设备公司，主营事务是聚集用于集成电路、LED芯片等微观器材范畴的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等要害设备的研制、出产和出售。

　　依据2月27日发布的成绩快报数据显现，中微公司2022年完结运营收入47.40亿元，较上年同期添加52.50%，再创前史新高;归属净赢利盈余11.698亿元，同比添加15.66%。公司2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年添加约21.9亿元，同比添加约53.0%，订单出售比到达1.33。

　　中微公司表明，公司主打产品等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最要害的微观加工设备，是制程进程最多、工艺进程开发难度最高的设备。因为光刻机的波长约束和2维芯片到3维芯片的展开，等离子体刻蚀设备越来越成为卡脖子的设备，也成为十大类要害设备商场*的一类，占半导体前道设备总商场的约25%。公司布局的薄膜设备(首要是化学薄膜和外延设备)是除光刻机和刻蚀机外第三大设备商场。此外，中微公司经过出资布局了第四大设备商场光学检测设备。公司另一个主打产品MOCVD设备是三五族化合物半导体制作的最要害的中心设备。

　　至2022年末，中微公司累计已有3311台等离子体刻蚀和化学薄膜的反响台，在国内、亚洲和欧洲的106条出产线，全面完结了量产和很多重复性出售，赢得了很多客户和供给厂商的信赖和支撑。

　　其间，CCP电容性高能等离子体刻蚀设备在国表里继续获得更多客户的认可，商场占有率不断进步，在国际*进的5纳米芯片出产线及下一代更先进的出产线上均完结了屡次批量出售，已有超越 200台反响台在出产线合格工作;ICP电理性低能等离子体刻蚀机自推出以来，不断地核准更多的刻蚀使用，敏捷的扩展了商场并收到*客户的批量订单，已在超越20个客户包含逻辑、DRAM和3DNAND等各类芯片出产线多个ICP刻蚀工艺的量产，并继续扩展到更多刻蚀使用的验证，展开势头微弱。相同使用ICP技能的8英寸和12英寸深硅刻蚀设备在先进体系封装、2.5维封装和微机电体系芯片出产线等刻蚀商场继续获得批量重复订单。

　　除刻蚀设备外，公司制作的氮化镓基 LED 的要害设备 MOCVD设备在新一代 Mini-LED 工业化中，在蓝绿光 LED 出产线上获得了**的位置。

　　此外，中微公司的各种新产品开发，包含用于更先进微观器材制程的极深邃宽比刻蚀设备、LPCVD薄膜设备、EPI外延设备和多种MOCVD设备，也获得了可喜的展开，即将为公司奉献出售收入。

　　盛美上海公司的首要产品包含半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等，研制出全球创始的SAPS/TEBO兆声波清洗技能和Tahoe单片槽式组合清洗技能，可使用于28nm及以下技能节点的晶圆清洗范畴，可有用处理刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题。

　　盛美上海年报显现，2022年公司完结运营收入为28.73亿元，同比添加77.25%;归归于上市公司股东的净赢利为6.68亿元，同比添加151.08%;扣除非经常性损益后的归归于上市公司股东净赢利为6.90亿元，同比添加254.27%。

　　盛美上海表明，获益于国内半导体职业设备需求的不断添加，出售订单继续添加。一起，公司新客户拓宽、新商场开发等方面均获得必定成效，新产品得到客户认可，订单量稳步添加。其间，公司来自我国大陆区域的事务收入为27.22亿元，同比添加78.03%;我国大陆区域外主营事务收入为0.34亿元，同比添加86.44%。

　　获益于半导体设备商场展开及公司产品竞赛优势和公司多年产能扩张，2022年盛美上海半导体清洗设备和其他半导体设备(电镀、立式炉管、无应力抛铜等设备)出产量和出售量均有进步。

　　一起，盛美上海仍在加大工业出资。在年报发表其已控股参股半导体专用设备零部件在内的四家公司基础上，日前，公司联合通富微电建立南通全德学镂科芯二期创投基金办理合伙企业(有限合伙)，注册本钱7.01亿元。盛美上海在年报中表明，公司考虑在有机生长的一起，经过出资并购国表里高端的半导体设备厂商或与国内闻名设备厂商进行合作开发，使公司可以掩盖更多的产品品类、占据更多细分商场。公司会要点重视清洗设备、芯片制作、封装测验等范畴的设备公司，以及其他化合物半导体范畴设备公司。

　　一起，盛美上海还公告了其布局全球化的新动向，公司拟以超募资金2.45亿元向全资子公司盛美韩国增资，以新建并施行盛美韩国半导体设备研制与制作中心项目。公司表明，此举可有用改进韩国子公司的研产出产条件，进步其研制实力及工业化才能;一起进一步完善公司的全球化工业布局，加快推动公司有竞赛力的差异化产品在国际客户端的验证与推行，增强公司对全球客户服务才能。

　　归纳近年来的事务展开趋势，盛美上海估计2023年全年的运营收入将在人民币36.5亿-42.5亿元之间，同比添加27.0%-47.9%，坚持高速添加。

　　拓荆科技首要从事高端半导体专用设备的研制、出产、出售与技能服务，首要产品包含等离子体增强化学气相堆积(PECVD)设备、原子层堆积(ALD)设备和次常压化学气相堆积(SACVD)设备三个产品系列，产品首要使用于集成电路晶圆制作，以及TSV封装、光波导、Micro-LED、OLED显现等高端技能范畴。

　　2月26日，拓荆科技发布的2022年成绩快报显现，2022年公司完结运营收入17.06亿元，同比添加125.02%;归母净赢利为3.69亿元，同比添加438.09%。

　　高速生长的背面，一方面是因为国内首要晶圆厂半导体设备需求添加，令公司出售订单大幅添加，运营收入坚持高添加趋势;另一方面得益于公司加大产品研制投入，产品结构不断优化，产品竞赛力继续增强，并进一步拓宽客户集体，使得出售订单大幅添加，运营收入坚持高添加趋势。

　　华海清科公司首要从事化学机械抛光(CMP)、研磨等设备和配套耗材的研制、出产、出售，以及晶圆再生代工服务，产品可广泛使用于极大规划集成电路晶圆制作、封装、微机电体系制作、硅资料制作等范畴。

　　华海清科的成绩体现相同亮眼，2022年公司完结运营收入16.82亿元，同比添加109.03%;归母的净赢利5.15亿元，同比添加159.97%。

　　陈述指出，2022年公司成绩改变首要原因是商场需求添加以及客户对公司产品认可度的继续进步，公司活跃掌握集成电路工业需求拉动所带来的商场机会，克服了疫情及供给链等不利要素的影响，继续加大研制投入和出产才能建造，增强了公司中心竞赛力，全年 CMP 设备及配套服务、晶圆再生事务等都完结了继续添加。公司新增订单稳步添加，在手订单不断添加，为公司成绩的快速添加供给了有力确保，收入规划继续添加。

　　2022年6月8日，华海清科方案募资10亿元，超募26亿元于科创板上市。

　　据其时音讯发表，华海清科上市之后短期内的首要展开方向依然是聚集于化学机械抛光机的产能开释和制程晋级上。此外，公司方案使用征集资金对公司中心产品的产能扩展一起展开面向14nm及以下制程先进半导体制作CMP、减薄多项要害技能及体系的立异开发及晋级，助力公司进一步进步立异研制才能，增强技能储备，扩展公司商场份额，进步全体出售收入，加强公司继续盈余才能，稳固并增强公司的商场位置，进步公司的全体竞赛力及品牌闻名度。

　　芯源微是国内*的高端半导体配备制作企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已构成完好的技能体系和丰厚的产品系列，可依据用户的工艺要求量身定制。产品习惯不同工艺等级的客户要求，广泛使用于半导体出产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等范畴。

　　2月22日，芯源微财报数据显现，公司2022年全年完结运营收入13.85亿元，同比添加67.12%;完结归母净赢利1.97亿元，同比添加约155.31%。

　　关于2022年的成绩体现，芯源微表明，公司产品竞赛力不断增强，新签订单规划同比大幅添加。公司集成电路前道晶圆加工范畴产品收入完结快速放量，一起坚持小尺度(如LED、化合物半导体等)及集成电路后道先进封装范畴产品收入稳步添加，公司赢利继续添加。

　　2022年末，芯源微还正式发布了前道浸没式高产能涂胶显影机新品，完结了在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全掩盖，并可继续向更高工艺等级迭代。

　　新益昌公司首要从事LED、半导体、电容器、锂电池等职业智能制作配备的研制、出产和出售，是国内LED封装、电容器老化测验智能制作配备范畴的*企业，一起凭仗深沉的研制实力和继续的技能立异才能，成功进入了半导体封装设备和锂电池设备范畴。

　　近来，新益昌发布成绩快报，2022年完结运营总收入11.84亿元，同比下降1.08%;归归于母公司股东的净赢利2.03亿元，同比下降12.46%。

　　关于成绩改变，新益昌表明，2022年公司紧跟下流客户技能展开的脚步，对各板块事务活跃投入研制人员、出售人员和资金，聚集智能制作配备职业展开主线，在职业中继续坚持优势，但受疫情、微观经济环境等多方面要素的扰动，公司半导体设备收入呈现必定程度下滑。未来公司将活跃应对外部商场环境的改变，坚持既定的战略规划，进步产品竞赛力，活跃开辟商场，加强本钱管控，进步公司全体运营水平。

　　华峰测控是国内最早进入半导体测验设备职业的企业之一，一直聚集于模仿和混合信号测验设备范畴。

　　华峰测控发布2022年度成绩快报显现，2022年公司完结运营收入10.71亿元，同比添加21.89%;归归于母公司所有者的净赢利5.25亿元，同比添加19.67%。

　　陈述指出，2022年公司继续遭到疫情影响，叠加半导体商场景气量的不断低迷，给公司的成绩添加带来了巨大的应战。在此期间，公司坚持既定的展开战略，不断优化产品结构，一起加强新产品研制和商场开辟，不断进步产品的商场占有率，确保了事务的继续安稳添加。

　　至纯科技的主营事务首要包含半导体制程设备、工艺支撑设备的研制和出产出售，以及由此衍生的高纯工艺体系建造、电子资料、部件清洗及晶圆再生等服务。

　　作为国内半导体清洗设备与高纯工艺体系的佼佼者，跟着湿法设备事务的继续放量，至纯科技进入快速展开期。

　　1月29日，至纯科技对外发布了一则关于公司2022年度新增订单状况的公告。至纯科技表明，公司地点职业展开安稳，公司全体成员克服了疫情带来的影响，为完结用户价值而尽力。公司2022年度事务坚持稳步添加，新增订单总额为42.19亿元，同比添加30.62%，其间半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比添加60.71%。

　　1月19日，长川科技发表2022年度成绩预告，公司估计2022年度完结归归于上市公司股东的净赢利4.50亿-5.20亿元，同比添加106.20%-138.27%。

　　公司运营成绩较上年同期上升的首要改变原因包含：事务规划的稳步扩展以及各类产品收入结构优化，高端品类收入占比继续上升等。长川科技主营产品包含测验机、分选机、探针台、AOI设备和自动化设备。

　　从多家半导体设备厂商成绩看来，添加动力多指向了半导体前道加工范畴。不难看出，在薄膜堆积、刻蚀、CMP和清洗设备等半导体前道工艺设备环节中，相关上市公司完结了1-2倍的成绩添加。

　　2022年，全球半导体工业链在疫情、需求缩短、地缘政治等要素影响下进入了职业的下行周期。不过，获益于近两年的扩产大潮以及国产代替关键，2022年大陆上市设备企业净赢利较多完结较大起伏上升。并且，在半导体设备国产代替化加快布景下，国内半导体厂商的合同负债去年均完结大幅添加。

　　归纳来看，下流需求、研制打破和产品放量构成国产半导体设备公司的生长主线，商场竞赛力正在逐渐进步。

　　但从职业现状来看，国内设备厂商现在依然仅仅“点”的打破，没有完结“面”的遍及，缺少成套设备的供给，设备的精度也不行，只能满意中低端芯片的出产，难以打入高端芯片出产线。

　　曩昔很多年，先进半导体设备技能首要由美欧日等国主导，其间 美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜堆积设备、测验设备、程序控制、CMP等设备的制作技能坐落国际前列;荷兰凭仗ASML的高端光刻机在全球处于*位置;日本则在刻蚀设备、清洗设备、测验设备等方面具有竞赛优势。

　　面临剧烈的商场竞赛环境，光大证券剖析指出，在半导体前道设备环节，短期遭到出口控制、晶圆厂投标推迟等影响，国产化中心逻辑仍在继续强化。据SEMI数据显现，2022年我国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年显着进步，从21%进步至35%。

　　现在，工业链上下流企业都在测验攻关半导体中心设备。跟着国产半导体设备技能的不断演进，国产设备厂商开端逐渐分食归于美日韩厂商的商场蛋糕。长时间来看，国产半导体设备正在寻觅新商场来补偿缺乏。

　　据SEMI数据显现，2022年全球半导体设备商场规划高达1085亿美金，改写前史最高纪录。其间，我国大陆地区为全球*的设备商场，2022年商场规划已到达320亿美元。

　　进入2023年，在全球经济增速下行、高通胀、终端需求下滑、芯片库存积压的布景下，全球芯片公司短期内仍会承压前行。尤其是鄙人流客户减产、减缩出资等约束条件下，短期内半导体设备厂商的出路显得令人忧心如焚。

　　SEMI猜测，2023年半导体设备商场将呈现4年来的初次负添加，2023年全球半导体设备商场规划将年减16%至912亿美元，我国大陆、我国台湾、韩国分家前三。其间，晶圆厂设备商场将年减17%至788.4亿美元，封装设备商场年减13%至52.9亿美元，测验设备商场年减7%至70.7亿美元。而在前段设备部分，逻辑制程设备商场将较2022年削减9%，DRAM设备商场将大幅削减25%至108亿美元，NAND Flash设备商场将下滑36%至122亿美元。

　　与此一起，美国近年来再三泛化国家安全概念，乱用出口控制办法，不断打乱国际经贸次序和损坏全球工业链供给链安全安稳，乃至目的撮合或施压盟国来阻止芯片等产品的正常国际交易。

　　2023年是半导体设备职业应战与机会并行的一年，内忧外患之下，国产代替紧迫性进一步进步，半导体供给链自主可控战略意义严重。

　　一方面，跟着地缘政治不确定性不断晋级，芯片制作企业也不愿意将鸡蛋放在同一个篮子中，这也给国内设备厂商供给了进入商场的关键。

　　国内厂商进军前道半导体设备商场尽管存在着困难，但经过数十年的累积，国内厂商也具有了向前道中心设备商场进军的条件。结合当时国外设备巨子成绩不加，国内半导体设备厂商的成绩遍及向好、逆势添加，这在当时形势下无疑给半导体设备国产化注入了决计。

　　另一方面，我国现在已经成为全球*的终端消费和制作中心，全球半导体工业逐渐向大陆搬运。在半导体设备公司的战略规划上，短期来看，半导体晶圆厂产能继续建造，尤其是大陆头部晶圆厂继续逆势大规划扩产，带动半导体设备需求旺盛;中长时间，半导体供给链加快本乡代替，国产半导体设备厂商将继续获益。

　　全体来看，我国半导体工业的国产化“知易行难”。除了技能距离和美国约束之外，在出资、人才、商场竞赛、战略决计和耐性等方面，我国都还面临着很大应战。

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